| 장비명 | 전계방사형 가변진공도 전자현미경 | 모델명 | SU6600 |
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| 제작사 | Hitachi | 도입시기 | 2009년 |
| 설치장소 | 포항금속소재산업진흥원 | ||
| 장비외관 및 사진 |
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| 기기사양 | Schottky field emission type electron gun, ZrO/W emitterAccelerating voltage : 0.3 to 30㎸Max. probe current : 200nASE Detector, BSE Detector | ||
| 특성 또는 활용분야 | 전계방사형 가변진공도 전자주사현미경 ◆ FE-SEM - 최대 600,000배까지 이미지 분석 가능한 전자현미경 - EDS/EBSD를 이용하여 화학조성 및 입계 방향성분석가능 - 상세 구매사양서 별첨. ◆ Pt-코팅기 - FE-SEM 분석을 위하여 Pt 타켓을 이용, Spurttering 방식으로 표면 코팅 ◆ 분석정보 처리 PC - FE-SEM 분석 후 자료를 가공하여 송부하기 위한 PC 금속 및 비금속 의 표면 형상 분석 및 성분분석 및 결정방위 분석 - 시료의 이미지 분석(SE, BSE) - 시료의 화학성분 정성분석(EDS) - 시료의 결정방위 분석(EBSD) - 가변진공도를 활용한 저오염 분석 가능 |
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- 담당자
- 성명
- 오세영
- 연락처
- 054-279-9473
- liliy530@pomia.or.kr
